フレキシブルフィルムのパターニングシステム

专利摘要:
１つの態様によれば本発明は、フレキシブルフィルムにおける変形を補償するためのテーブル（１）を提供する。このテーブルは、支持ベース（２）と変形補償システム（３）とを備える。このシステムは、ベース（２）に支持された複数の可動エレメント（４）を備え、この可動エレメントはフレキシブルフィルムを支持するための面を形成する。可動エレメントはフィルム（５）をクランプ固定するためのクランプ（６）を備える。可動エレメント（４）は、クランプ固定されたフィルムを引き延ばして所定の形状となるように、フィルムを支持するための面に対し平行に個別に可動となっている。フレキシブルフィルムにおける変形を補償するためのこのテーブルは、フレキシブルな機能的フィルムの製造プロセスにおいて、順次パターニングにおけるフィルムの変形を補償するために用いられる。
公开号:JP2011513968A
申请号:JP2010548631
申请日:2009-02-27
公开日:2011-04-28
发明作者:ウィルヘルムス；ヨハネス；マリア デ・ラート，；ペテル；テオドルス；マリア ヒーセン，；マリア ペテル，；エルウィン；リナルド メインデルス，
申请人:ネーデルランデ オルガニサティー ヴール トゥーヘパストナツールウェテンスハペライク オンデルズーク テーエヌオー；
IPC主号:H01L21-683

专利说明:

[0001] 本発明はフレキシブルフィルムをパターニングするシステムおよび方法に関する。]
背景技術

[0002] 本発明はフレキシブルフィルムのパターニング分野に関する。フレキシブルフィルムのパターニングの１つの応用例は、ディスプレイフィルム、電池フィルム、または太陽電池パネルフィルム等の電気的機能を備えたフレキシブルフィルムをなすことである。これらのフィルムは複層フィルムシステム、すなわちフレキシブルな積層した電子回路装置の構成要素として用いられる。これらの複層フィルムシステムには多くのアプリケーションがあり、たとえば照明の分野と再使用可能および使い捨て可能なセンサ装置に用いられる。｛じょくそう｝]
[0003] 機能的フィルムは、フィルム上に順に、層を加えることおよび層をパターニングすることによって製造される。この製造プロセスは、たとえばコンピュータチップのような従来の電子部品の製造に類似している。しかしながら、ここでは、柔軟性の無い電子部品の製造とフレキシブルな機能フィルムの製造とでは違いがあり、この製造においてはリソグラフィーでのパターニングプロセス（マスクを用いた露光、マスクレス露光またはレーザーパターニング等）における、クリーニング、層堆積、加熱、エッチング、ハンドリングまたは保管などの種々のステップがフレキシブルな機能フィルムの変形を起こすことがある。変形はパターニングされた複数層の積層体の重ね合わせ誤差となる。]
発明が解決しようとする課題

[0004] したがって、１つの態様では、本発明は、順次パターニングにおけるフレキシブルフィルムの変形を補償するシステムおよび方法を提供することを目的とする。]
[0005] なお、ウェハーを変形するための装置は従来技術で知られている（谷口氏等、米国特許ＵＳ４４７５２２３）。しかしながら、この特許における装置は、ウェハーと変形したマスクとの間隔が一定に維持されるようにウェハーを変形する、いわゆる平面変形を行う。フレキシブルフィルムの変形を補償する際の課題は、柔軟性の無いウェハーを変形することとは明らかに異なるが、これは面外変形の補正の他に、いわゆる面内変形の補正が必要とされるからである。]
[0006] コスト削減の理由から、個々のフィルムは大面積で大量に製造されること、たとえば何メートル（数百メートル）ものフィルムのロールで生産されることが望ましい。]
[0007] したがって、もう１つの態様では、本発明は、バッチ毎の製造プロセスと同様に、オープンリール式（“reel-to-reel”または“roll-to-roll”）の製造プロセスに使用される、フレキシブルフィルムをパターニングするためのシステムおよび方法を提供することを目的とする。]
課題を解決するための手段

[0008] １つの態様では、本発明はフレキシブルフィルムにおける変形を補償するためのテーブルを提供し、このテーブルは支持ベースと変形補償システムとを備え、この変形補償システムは前記ベースに支持された複数の可動エレメントを備え、この可動エレメントはフレキシブルフィルムを支持するための面を形成し、この可動エレメントはフィルムをクランプ固定するためのクランプを備え、この可動エレメントは、クランプ固定されたフィルムを引き延ばして所定の形状となるように、フィルムを支持するための面に対し平行に個別に可動となっていることを特徴とする。]
[0009] もう１つの態様によれば、本発明は、フレキシブルフィルムをパターニングするためのシステムを用いて、フレキシブルフィルムをパターニングする方法を提供し、前記システムは前記フィルムにおける変形を補償するためのテーブルを備え、前記テーブルは支持ベースと変形補償システムとを備え、この変形補償システムは、前記ベースに支持された複数の可動エレメントを備え、この可動エレメントはフィルムを支持するための面を形成し、この可動エレメントはフィルムをクランプ固定するためのクランプを備え、この方法はフィルムを提供するステップを含み、フィルムを可動エレメントにクランプ固定し、このフィルムを引き延ばして所定の形状となるように、この可動エレメントをフィルムに平行に個別に動かし、そしてテーブル上のフィルムをパターニングする。]
[0010] 本発明は、以下に詳細に説明する本発明の好ましい実施形態とこれに付随する図から、ただちに明白となる。]
図面の簡単な説明

[0011] フレキシブルフィルムにおける変形を補償するためのテーブルの概観の概略図と誇張された側面図である。
可動エレメントの間のフィルムのたるみを低減するための可動エレメントの形状例である。
フィルムにおける変形を示すマーカーである。
フレキシブルフィルムをパターニングするためのシステムの概観である。
フィルムをパターニングするための方法を概略的に示す。
フィルムとテーブルの間の充分な接触を提供するための、フィルムをパターニングするためのシステムの配置である。
フィルムにおける磁性部分と粒子である。]
実施例

[0012] 本発明の１つの実施形態は、フレキシブルフィルムにおける変形補償のためのテーブル１である。図１Ａはそのようなテーブルの実施形態の概観概略図を示す。この実施形態では、テーブルは支持ベース２と変形補償システム３とを備える。この変形補償システムは、前記ベースに支持された、可動エレメント４の格子を備える。この可動エレメント４はフレキシブルフィルム５を支持するための面を形成する。図１Ｂには、このテーブルの誇張された側面図が示されており、フィルム５をクランプ固定するためのクランプ６を備える可動エレメント４が示されている。この可動エレメント４は、個別にアドレス可能で、クランプ固定されたフィルム５を引き延ばして所定の形状とするように、フィルム５を支持するための面に平行に動かすことができる。] 図１Ａ 図１Ｂ
[0013] 格子における可動エレメント４は、実質的にテーブルの全面に渡って規則的に分布しており、５０から５００μｍの範囲にある最大距離のギャップにより隔てられている。さらに、１２ないし２５μｍのフィルムに対して、このギャップはまた、たとえば２から２０μｍの間の最小値を持っている。]
[0014] テーブル１のサイズの目安は５０×５０ｃｍであるが、（約）２．８×２．４ｍのような大きなサイズを用いても良く、これはバッチ単位のディスプレイ製造における、いわゆる第９世代フォーマットに適合するものである。
可動エレメント４のサイズの目安は５×５ｍｍから５０×５０ｍｍである。このエレメントが１つの方向だけに動くようなことが起こる場合は、１つのエレメントの最大の長さがテーブルのサイズであってよく、ただしその幅は５ｍｍと５０ｍｍの間である。]
[0015] 可動エレメント４の動きは、可動エレメント４に備えられたアクチュエータ７によってもたらされる。この実施形態では、アクチュエータ７は機械的アクチュエータである。しかしながら、他の実施形態では、可動エレメントはピエゾ素子、コイル、空気圧手段、油圧手段、または熱的手段によって駆動されてよい。]
[0016] この実施形態では、クランプ６は磁気クランプである。もう１つの実施形態では、このクランプ６は真空クランプである。磁気クランプの吸引力を個別にアドレスし、強度を調整してもよい。磁気クランプの他の有利な点は、クランプとクランプ解除の可能な速度が真空クランプよりはるかに大きいことである。これらの特性は、重ね合わせ補償をオンザフライで行うため、画像の継ぎ合わせのため、およびアライメントなど、フレキシブル基板上での大面積リソグラフィーの全ての重要な条件に対してこの磁気的方法をとりわけ適したものとする。]
[0017] 図１Ｃに示すもう１つの実施形態では、可動エレメント４は、フィルム５と可動エレメント４の間の密着を改善するために密着強化層８を備えている。密着を強化する１つの可能性は摩擦増加層を用いることである。しかしながら、密着を強化する他の方法で、粘着層を用いるようなことも考えられる。この摩擦強化層は、好ましくは誘電体物質（すなわち非磁性体）である。
個々の密着強化層の厚さは、フィルムを支持する面を平坦にするように、可動エレメントの高さの違いを補償するために用いてよい。このように、これらの層の高さを変えることにより、可動エレメントの高さの違いが補償される。] 図１Ｃ
[0018] 上記では、可動エレメント４の３つの可能な構成要素が説明された。これらはクランプ６、アクチュエータ７および密着強化層８である。しかしながら、他の実施形態では可動エレメント４の構成は異なっていてよく、すなわち他の構成要素が用いられてよく、または前記の構成要素を除外してもよい。]
[0019] クランプ固定されたフィルム５における変形は、このフィルム５を所定の形状に引き延ばすことにより補償される。したがって、この可動エレメント４は、フィルム５を支持する面に平行な面において２つの方向に移動する。テーブルのもう１つの実施形態では、平坦度の補償は、この可動エレメント４を第３の方向である、フィルム５を支持する面に直角な方向に動かすことにより可能となる。フィルムの面に平行な、可動エレメント４の回転軸の回りの回転はまた、このフィルムの平坦度を向上する。]
[0020] フィルム５を支持する側の可動エレメント４の形状は、フィルム５が弛んで可動エレメントの間に入り込むことを低減するように選択される。この可動エレメントの形状の例が図２に示されている。この部品は四角形（図２Ａ）、六角形（図２Ｂ）、または図２Ｃに示すように嵌合側にジグザグの端部を持つ四角形のものであってよい。] 図２ 図２Ａ 図２Ｂ 図２Ｃ
[0021] フィルムの弛みの傾向は、基本的に、テーブル１の表面に渡る可動エレメント４の分布の２つの形態に依存し、これらはエレメントの間のギャップの幅と（多数の）エレメントに渡って延伸しているこのギャップの長さである。
この弛み易さは、可動エレメントの間のギャップの幅の増大につれて増加する。ギャップの幅が増加すると、ある曲げ半径を持ったフィルムは、このギャップの中に容易に垂れ下がる。
さらに、この弛み易さはギャップの長さの増大につれて増加する。格子の配置に依存して、このギャップは複数の可動エレメントに沿って延伸する。ギャップの長さの増大は、フィルムのたるみが単一の曲面となることを促進する。単一曲面は１つの軸に沿って曲がっている面である。単一曲面の曲げは、フィルムにおける変形が非常に少ないので、比較的扱い易い。
ギャップの長さの減少は、フィルムを強制的にいわゆる複曲面（double-curved bending）の曲げにする。複曲面は、少なくとも２つの軸にそって曲がっている面である。複曲面の曲げは、単一曲面の曲げに比べ、さらに大きなフィルム変形を必要とし、したがって実現することは、はるかに難しい。したがって、これらのエレメントにジグザグのエッジを設けることにより、ギャップが複数のエレメントに沿って揃って延伸することが回避され、フィルムの垂れ下がりが最少となる。]
[0022] 図２Ａから、四角形の可動エレメント４の格子の配置は、多数のエレメントに沿って延伸し、比較的容易に単一曲面の曲げとすることができることが分かる。従ってこのパターンは、比較的厚いフィルム（目安として２００−５００μｍ）に適している。
四角形の可動エレメントの嵌合側にジグザグが設けられている場合（図２Ｃ）、ギャップの延伸は、局所的には四角形の一辺よりも小さく、これによりこのパターンをとりわけ比較的薄いフィルム（目安として５−２０μｍ）に適したものとしている。
図２Ｂの六角形エレメントによる構成は、ギャップの長さが六角形の一辺に沿ったものであることを示している。このギャップの長さは複数の四角形の構成でのギャップの長さとジグザグの間のギャップの長さとの間にあり、したがって平均的な厚さ（目安として５０−２００μｍ）のフィルムに適している。] 図２Ａ 図２Ｂ 図２Ｃ
[0023] 本発明のもう１つの態様は、フレキシブルフィルム５をパターニングするためのシステム１０である。図４Ａはこのシステムの実施形態を示す。このシステムは、前述のように、変形を補償するテーブルを備える。このシステムは、さらにこのテーブルに渡って少なくとも部分的にフィルム５を動かす移送手段を備える。図４Ａに示す実施形態では、この移送手段は２つのリール１２を備える。リールを移送機構として用いることは、このシステムをオープンリール式プロセシングに準拠したものとし、したがってこのテーブルは、フィルムが連続して（またはステップモードで）移送されている間は、フィルムの一部を露出するようにして用いられる。] 図４Ａ
[0024] １つの実施形態では、前記リール１２の内少なくとも１つは複数の磁気エレメント１４を備えている。これは図４Ｂに示されている。フィルム５の移送を制御するために、各々のエレメントは個別にアドレス可能であり、各々の磁気エレメントは個別に調整される。
個々の磁気エレメント１４は、動的な磁気力が発生されるようにアドレスされるようにしてもよい。この磁気ウェーブの伝搬速度はフィルム５の所望の移送速度に同期している。このようにして、フィルム５はリール１２を回転することなく移送される（「静的移動」）。] 図４Ｂ
[0025] 本システムはさらに、テーブル上のフィルム５の部分をパターニングするために配置されたパターニングユニットを備える。図４Ａに示す実施形態では、このパターニングユニットは照射手段１３を備える。この照射はリソグラフィーかまたはレーザー直描の書き込みでよい。] 図４Ａ
[0026] 本システムはさらに、アライメントシステム１１を備え、変形補償システム３に通信で接続されており、アライメントシステムの出力に反応する。便宜上、このアライメントシステムは１回のみ、図４Ａに示されている。
１つの実施形態では、このアライメントシステム１１は、フィルム５上に設けられたマーカーパターンを検出するために配置されている。たとえば、露光によってフィルム５は変形した状態となり、フィルム５に備えられたアライメントマーカー９、９’、９”および変形の目安が測定される。このアライメントマーカー９、９’、９”は事前に露光されて、パターニングされた層に含まれるようにしてもよい。図３Ａは、フィルム５における変形した状態にあるこれらのマーカー９、９’、９”を示す。
アライメントシステム１１は、変形したフィルム５において、測定されたマーカー９、９’、９”を所望のマーカーパターンに関して位置合わせすることによって、変形補償システム３を制御する。好ましいマーカーパターンは、図３Ｂに示すように、変形していない状態のフィルム５から測定される。この好ましいマーカーパターンはまた、変形状態におけるマーカー９、９’、９”の位置からも決定することができる。これは、たとえば好ましいマーカーパターンにおいて、マーカー９、９’、９”の間隔に比べて変形が小さい場合に、実施可能である。
この好ましいマーカーパターンはテーブルの上に突出していてよい。
本システムにフィルム５を供給するために、本システムはフィルム供給装置（不図示）を備える。] 図３Ａ 図３Ｂ 図４Ａ
[0027] １つの実施形態においては、本システムはステップ的な仕方で動作するようにしてもよい。露光テーブルの前後に設けられた移送手段を介して、フィルム５の当該部分がテーブルに渡って移送される。露光の間は、フィルム５はテーブルにクランプ固定される。露光後、フィルム５の新しい部分がテーブルに移送される。
もう１つの実施形態では、本システムをスキャナー型の方法で動作するようにしてもよい。この動作モードでは、フィルム５および照射手段は互いに相対的に移動し、照射されているフィルム５の一部のみがテーブルにクランプ固定される。この動作モードは３つの点で有利である。第１に、画像の大きさは画像システムの大きさで決定されない。第２に、画像の継ぎ合わせが最少となり、第３に連続的な処理フローが可能である。レーザー直描パターニングまたはマスクレス露光システムを用いて連続パターニングシステムを提供できる。]
[0028] 本発明のさらにもう１つの態様は、フレキシブルフィルムをパターニングするためのシステム１６を用いることによってフレキシブルフィルムをパターニングする方法１５である。図５に、この方法の概略を示す。本システムは、フィルム５における変形を補償するテーブルを備え、このテーブルは支持ベース２とこのベースで支持される可動エレメント４の格子とを備える。この可動エレメント４（不図示）はフィルム５を支持する面を形成し、またこの可動エレメント４はフィルム５をクランプ固定するためのクランプ６を備える。本方法は数ステップを含む。本方法は図５Ａに示すフィルムの無いシステム１６からスタートする。第１のステップでは、図５Ｂのように、フィルム供給装置がシステム１７にフィルム５を供給する。第２のステップでは、フィルム５が可動エレメント４にクランプ固定され、ステップ３で、この可動エレメント４が個別に、フィルム５に対し平行に動かされ、このフィルム５を所定の形状（不図示）とするように引き延ばす。ステップ４において、図５Ｃのように、フィルム５は所定の形状に維持され、露光が行われて、テーブル１８上でフィルムがパターニングされる。] 図５ 図５Ａ 図５Ｂ 図５Ｃ
[0029] フィルム５の変形が直線状の変形でない場合、フィルム５に対し直角に可動エレメントを移動して、フィルム５が所定の形状となるように引き延ばす、追加のステップを本方法に追加してもよい。]
[0030] 図６は、フレキシブルフィルムをパターニングするために、フィルム５とテーブル１の間で加圧接触させるように配置されたシステム６０の多数の変形実施例を示す。図６Ａでは、テーブルはフィルム５と直線状に揃っており、したがってフィルム５はテーブルと接触している。図６Ｂは、フィルム５をテーブルにガイドするための２つの補助リールまたはガイド２５を示す。テーブル１を平面とする、さらに２つの補助ガイド２５’が図６Ｃに示されている。これらの補助ガイドはローラーであってもよく、また異なる形状のガイドも可能である。図６Ｄでは、テーブル１の端部がフィルム５のためのガイドまたは支持体を構成している。図６Ｅでは、テーブル面は曲げられてフィルムの支持コンタクトとなっている。テーブルの湾曲は、円柱状、放物面状、または球状など、異なる複数の凸形状を含んでいてもよい。また、テーブルの大きさと半径は様々であってよい。ある場合には、ロールのような小さいテーブルを提供することも有利である。] 図６ 図６Ａ 図６Ｂ 図６Ｃ 図６Ｄ 図６Ｅ
[0031] １つの実施形態では、フィルム５の磁性部分１９はフィルム５を磁性粒子または金属粒子、または特定の形状のファイバーで充填することによって形成される。図７は粒子の幾つかの形状例を示し、円形もしくは球形（図７Ａ）、楕円形（図７Ｂ）、矩形、針状または円盤状（図７Ｃ）である。図７Ｄに示すような、様々な形状の混成も可能である。
異なるタイプの粒子形状は以下のように用いられる。
− 製造プロセスの最適化
− 異方性を導入して、様々な方向でのクランプ固定特性をコントロールする。たとえば機械動作方向または横方向の特性を改善する、または基板に平行な力を改善する。
− 長い粒子を同じ方向に揃えることによって、導電特性を増強する。
− 粒子の（ポリマー）フィルムへの接着を改善する。] 図７ 図７Ａ 図７Ｂ 図７Ｃ 図７Ｄ
[0032] これらの粒子および／またはファイバーはフィルム５に渡って均一に分散しているが、これらは特定の（密度）分布に従って分散していてもよい。分布の例としては厚さ方向に沿った分布があり、クランプ６に最も近いフィルム５の側から離れるにしたがって、粒子密度が減少する。クランプ固定側に近いところで粒子および／またはファイバーの密度が高いので、クランプ固定力が大きくなる。クランプ固定側に粒子を集中させることの２つめの有利性として、基板上の電子素子と基板上の粒子の間の絶縁を行うということがある。フィルム中に粒子を均一に分散させることの有利性は、フィルムの物性の均一性を向上することである。]
[0033] 本システムを磁気的に動作させることに対応して、フィルム５は磁性部分１９を備える。この磁性部分１９の特性は、クランプ固定力の調整の可能性に影響する。フィルム５の非磁性ベース材料はプラスチックでよく、また紙、複合材料、ガラス等でもよい。磁性部分１９は、様々な方法で設けられてよい。]
[0034] もう１つの実施形態では、フィルム５の磁性部分１９は、磁気テープまたは金属テープ２２によって形成される。これは図７Ｅに示されている。図７Ｆでは、磁気テープ２２は追加のフィルム５と共に積層されている。磁気テープ２２には、ストライプ状、四角形状等、特定のパターンが設けられている。
フィルム５に磁気粒子２０を導入することの１つの有利性は、特定の粒子の密度を選択することによって、クランプ固定力が影響されるということである。フィルムにおける磁性粒子２０のもう１つの有利性は、この磁性粒子２０がフィルムにおける水／湿気のバリヤとなることである。] 図７Ｅ 図７Ｆ
[0035] フィルム５をテーブルとリール１２とに磁気的にクランプ固定することは、真空クランプ固定に比べて有利である。とりわけ、このクランプ固定力は調整可能であり、これにより選択的な滑りが起こり、不連続な変形領域の影響を最少とする。
もう１つの有利性は、真空クランプ固定が真空引の穴の近くでのみ可能であるのに対して、磁気力のスイッチングのオン・オフは速くかつ全面に渡り印加できることである。真空クランプ固定の不利な点は、必要な圧力を維持するために、真空引きの穴から空気を除去しなければならないことである。これは大きな真空力のスポットを生じさせ、従って基板の変形を生じさせる。
磁気クランプ固定の場合は、フィルムとテーブルの間の気泡を避けるように、穴または溝がクランプに設けられている。]
[0036] ここで示す詳細な図面、具体的な例、および特定の形態は、単に説明のために供するものである。真空クランプ固定と比較した、フィルム５の磁気的処理のさらなる有利性は多孔フィルムの使用が可能であるということである。]
[0037] さらに、従属項に示されているように、本発明の範囲を外れることなく、他の代替、変形、変更、および省略が、実施形態例の設計、動作条件、および配置において可能である。]

权利要求:

請求項1
フレキシブルフィルム（５）における変形を補償するためのテーブル（１）であって、支持ベース（２）と変形補償システム（３）とを備え、前記変形補償システムは、前記ベース（２）に支持された複数の可動エレメント（４）を備え、前記可動エレメントは前記フレキシブルフィルムを支持するための面を形成し、前記可動エレメントは前記フィルム（５）をクランプ固定するためのクランプ（６）を備え、前記可動エレメント（４）は、前記クランプ固定されたフィルムを引き延ばして所定の形状となるように、前記フィルム（５）を支持するための前記面に対し平行に個別に可動となっていることを特徴とするテーブル（１）。
請求項2
請求項１に記載のテーブルにおいて、前記複数の可動エレメント（４）は、可動エレメントの格子を形成するように、実質的にテーブル（１）の全面に渡って規則的に分布していることを特徴とするテーブル。
請求項3
請求項１に記載のテーブルにおいて、前記可動エレメント（４）は、最小の距離が２から２０μｍの間の範囲であって、そして最大の距離が５０から５００μｍの間の範囲のギャップによって隔てられていることを特徴とするテーブル。
請求項4
請求項３に記載のテーブルにおいて、前記ギャップが複数のエレメントに沿って揃って延伸することを回避し、前記フィルムの弛みを最小とするために、前記エレメントはジグザグのエッジを持つことを特徴とするテーブル。
請求項5
請求項１に記載のテーブルにおいて、前記可動エレメント（４）は、さらに、前記可動エレメントを動かすためのアクチュエータ（７）を備えることを特徴とするテーブル。
請求項6
請求項１に記載のテーブルにおいて、前記可動エレメント（４）は、さらに、フィルム（５）への前記クランプ（６）の把持を改善するための密着強化層（８）を備えることを特徴とするテーブル。
請求項7
請求項６に記載のテーブルにおいて、前記密着強化層（８）は摩擦増加層であることを特徴とするテーブル。
請求項8
請求項６に記載のテーブルにおいて、個々の前記密着強化層の厚さは、前記フィルムを支持する面が平坦となるように、前記可動エレメントの高さの違いを補償することを特徴とするテーブル。
請求項9
請求項１に記載のテーブルにおいて、前記クランプ（６）は磁気クランプであることを特徴とするテーブル。
請求項10
請求項１に記載のテーブルにおいて、前記クランプ（６）は真空クランプであることを特徴とするテーブル。
請求項11
フレキシブルフィルム（５）をパターニングするためのシステム（１０）であって、前記フィルムを供給するためのフィルム供給装置と、請求項１に記載のテーブルと、前記テーブルに渡って少なくとも部分的に前記フィルムを動かす移送手段と、前記テーブルの上で前記フィルムの部分をパターニングするために配置されたパターニングユニットと、前記テーブルに設けられて、前記変形補償システム（３）に通信で接続されているアライメントシステム（１１）とを備えることを特徴とするシステム（１０）。
請求項12
請求項１１に記載のシステムにおいて、前記アライメントシステム（１１）は、前記フィルム（５）の上に設けられたマーカーパターン（９、９’、９”）を検出するように配置されていることを特徴とするシステム。
請求項13
請求項１１に記載のシステムにおいて、オープンリール式（“reel-to-reel”）の製造プロセスに使用されるように、前記移送手段は少なくとも２つのリール（１２）を備えることを特徴とするシステム。
請求項14
請求項１１に記載のシステムにおいて、前記リールの少なくとも１つは（複数）磁気エレメント１４を備え、各々のエレメントは、前記フィルム（５）の移送を制御するように個別にアドレス可能となっていることを特徴とするシステム。
請求項15
請求項１１乃至１４のいずれか１項に記載のシステムにおいて、前記パターニングユニットは照射手段（１３）を備えることを特徴とするシステム。
請求項16
フレキシブルフィルムをパターニングする方法（１５）であって、フレキシブルフィルムをパターニングするためのシステムを用い、前記システムは前記フィルム（５）における変形を補償するためのテーブルを備え、前記テーブルは支持ベース（２）と変形補償システム（３）とを備え、前記変形補償システムは前記ベース（２）によって支持された複数の可動エレメント（４）を備え、前記可動エレメントは前記フィルムを支持するための面を形成し、前記可動エレメントはフィルムをクランプ固定するクランプ（６）を備え、前記方法は以下のステップ、フレキシブルフィルムをパターニングするためのシステムを提供するステップ（１６）と、フィルムを供給するステップ（１７）と、前記フィルムを前記可動エレメント（４）にクランプ固定するステップと、前記フィルムを所定の形状に引き延ばすように、前記可動エレメントを前記フィルム（５）に対し平行に個別に動かすステップと、前記テーブルの上で前記フィルムをパターニングするステップ（１８）とを含むことを特徴とする方法。
請求項17
請求項１６に記載の方法において、前記フィルム（５）に対し直角に前記可動エレメント（４）を個別に動かして、前記フィルムを前記所定の形状となるように引き延ばすステップをさらに備えることを特徴とする方法。
請求項18
請求項１６に記載の方法において、前記フィルム（５）は、前記フィルムを磁気的にクランプ固定するための磁性部分（１９）を備えることを特徴とする方法。
請求項19
請求項１８に記載の方法において、前記磁性部分（１９）は、クランプ固定力を局所的に調整するための磁性粒子（２０）を備えることを特徴とする方法。